材质:石英;用途:用于磷扩工艺,装液态的三氯氧磷,通氮气后携带磷源进入炉管
材质:石英;用途:用于固定和承载隔热板,方便安装
材质:石英+保温材料;用途:用于磷扩工艺,紧贴炉门,为金属炉门降温。
材质:石英;用途:用于磷扩/硼扩工艺中的双桨炉管密封
材质:石英+保温材料;用途:用于双桨炉管靠近炉门的位置,防止炉口一温区温度损失过快。
材质:石英;用途:悬挂于LP工艺阶段的炉管前后端口,提升炉管内部气流均匀性