细丝热场

细丝热场

产品说明

  • Laplace四分热场专为光伏热制程设备定制,采用一体真空吸附的制程方式,选用硬质细丝作为加热体,单温区多线程控制,有着优越的温度均匀性及产品一致性。
  • 首创四分热场设计,实现极优越的温均及耗能节省。
  • 适用于扩散、氧化、LPCVD、PECVD等机型。

产品说明

  • Laplace四分热场专为光伏热制程设备定制,采用一体真空吸附的制程方式,选用硬质细丝作为加热体,单温区多线程控制,有着优越的温度均匀性及产品一致性。
  • 首创四分热场设计,实现极优越的温均及耗能节省。
  • 适用于扩散、氧化、LPCVD、PECVD等机型。

产品优势

  • 首创多温区分布,提供优越的温度均匀性及超长的恒温工作区
  • 温度无过冲
  • 缩短快速升温及快速降温工艺时长
  • 可加热到更高温度,加热体变形小,寿命长
  • 无需采用变压器,可以实现灵活的控温方式
  • 优越的耐热材料保温性能,实现低能耗

产品优势

  • 首创多温区分布,提供优越的温度均匀性及超长的恒温工作区
  • 温度无过冲
  • 缩短快速升温及快速降温工艺时长
  • 可加热到更高温度,加热体变形小,寿命长
  • 无需采用变压器,可以实现灵活的控温方式
  • 优越的耐热材料保温性能,实现低能耗

规格参数

适用机型 LPCVD PECVD 前硼/RP 硼氧一体/OX
操作温度 500℃~700℃ 200~600℃ 800~1000℃ 900℃~1050℃
耐热材料 真空吸附工艺 300kg/m³
导热系数W/m·k at 400℃ 0.103 at 600℃ 0.137 at 800℃ 0.164 at 400℃ 0.107 at 600℃ 0.149 at 800℃ 0.179 at 1000℃ 0.233
温度均匀性 at 700℃±1℃ at 600℃±1℃ at 1000℃±1℃ at 1050℃±1℃
发热体 绕线或带状FeCrAl,直接嵌入耐热材料中
支撑体 独特的纤维工艺结构
适配石英管尺寸 380-540mm
使用寿命 >18 months >24 months >12 months >12 months

运用场景

光伏/半导体设备
低压水平扩散系统 低压水平氧化退火系统
低压水平化学气相沉积镀膜系统LPCVD 等离子增强化学气相沉积镀膜系统PECVD TWIN
水平等离子增强原子层沉积水平镀膜系统PEALD 等离子体增强化学气相沉积水平镀膜系统PECVD VEGA
原子层沉积系统ALD 超高温热处理设备

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