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细丝热场
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产品说明
Laplace四分热场专为光伏热制程设备定制,采用一体真空吸附的制程方式,选用硬质细丝作为加热体,单温区多线程控制,有着优越的温度均匀性及产品一致性。
首创四分热场设计,实现极优越的温均及耗能节省。
适用于扩散、氧化、LPCVD、PECVD等机型。
产品说明
Laplace四分热场专为光伏热制程设备定制,采用一体真空吸附的制程方式,选用硬质细丝作为加热体,单温区多线程控制,有着优越的温度均匀性及产品一致性。
首创四分热场设计,实现极优越的温均及耗能节省。
适用于扩散、氧化、LPCVD、PECVD等机型。
产品优势
首创多温区分布,提供优越的温度均匀性及超长的恒温工作区
温度无过冲
缩短快速升温及快速降温工艺时长
可加热到更高温度,加热体变形小,寿命长
无需采用变压器,可以实现灵活的控温方式
优越的耐热材料保温性能,实现低能耗
产品优势
首创多温区分布,提供优越的温度均匀性及超长的恒温工作区
温度无过冲
缩短快速升温及快速降温工艺时长
可加热到更高温度,加热体变形小,寿命长
无需采用变压器,可以实现灵活的控温方式
优越的耐热材料保温性能,实现低能耗
规格参数
适用机型
LPCVD
PECVD
前硼/RP
硼氧一体/OX
操作温度
500℃~700℃
200~600℃
800~1000℃
900℃~1050℃
耐热材料
真空吸附工艺 300kg/m³
导热系数W/m·k
at 400℃ 0.103 at 600℃ 0.137 at 800℃ 0.164
at 400℃ 0.107 at 600℃ 0.149 at 800℃ 0.179 at 1000℃ 0.233
温度均匀性
at 700℃±1℃
at 600℃±1℃
at 1000℃±1℃
at 1050℃±1℃
发热体
绕线或带状FeCrAl,直接嵌入耐热材料中
支撑体
独特的纤维工艺结构
适配石英管尺寸
380-540mm
使用寿命
>18 months
>24 months
>12 months
>12 months
运用场景
光伏/半导体设备
低压水平扩散系统
低压水平氧化退火系统
低压水平化学气相沉积镀膜系统LPCVD
等离子增强化学气相沉积镀膜系统PECVD TWIN
水平等离子增强原子层沉积水平镀膜系统PEALD
等离子体增强化学气相沉积水平镀膜系统PECVD VEGA
原子层沉积系统ALD
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