粗丝热场

产品说明

  • 粗规格工艺热场专为光伏热制程设备定制,选用粗规格FeCrAl发热丝作为加热体,有着优越的温度均匀性及产品一致性和较长的使用寿命。
  • 适用于扩散、氧化、LPCVD、PECVD等机型

产品说明

  • 粗规格工艺热场专为光伏热制程设备定制,选用粗规格FeCrAl发热丝作为加热体,有着优越的温度均匀性及产品一致性和较长的使用寿命。
  • 适用于扩散、氧化、LPCVD、PECVD等机型

产品优势

  • 整个生产过程无特殊化学品或有害气体排放。
  • 陶瓷纤维具有重量轻、保温性能好、热稳定性好、 化学稳定性好,施工方便等优点。
  • 陶瓷垫圈的加入增加了循环温度下的一致性和可靠性。

产品优势

  • 整个生产过程无特殊化学品或有害气体排放。
  • 陶瓷纤维具有重量轻、保温性能好、热稳定性好、 化学稳定性好,施工方便等优点。
  • 陶瓷垫圈的加入增加了循环温度下的一致性和可靠性。

规格参数

JG-HGC 1250 JG-HGC 1250L
操作温度 200-1250℃ 200-1250℃
外壳 SUS不锈钢 SUS不锈钢
耐热材料 陶瓷纤维毯包裹式制程 52% Al2O3 / 47% SiO2 陶瓷纤维毯包裹式制程 52% Al2O3 / 47% SiO2
发热体 粗规格FeCrAl 粗规格粉末冶金FeCrAl
支撑体 自锁结构 自锁结构
适配石英管尺寸 430-540mm 430-540mm
应用场景 立式或卧式 LPCVD/氧化/扩散工艺, 最高可达1250℃ 立式或卧式 LPCVD/氧化/扩散工艺, 最高可达1250℃,更长寿命

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