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粗丝热场
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产品说明
粗规格工艺热场专为光伏热制程设备定制,选用粗规格FeCrAl发热丝作为加热体,有着优越的温度均匀性及产品一致性和较长的使用寿命。
适用于扩散、氧化、LPCVD、PECVD等机型
产品说明
粗规格工艺热场专为光伏热制程设备定制,选用粗规格FeCrAl发热丝作为加热体,有着优越的温度均匀性及产品一致性和较长的使用寿命。
适用于扩散、氧化、LPCVD、PECVD等机型
产品优势
整个生产过程无特殊化学品或有害气体排放。
陶瓷纤维具有重量轻、保温性能好、热稳定性好、 化学稳定性好,施工方便等优点。
陶瓷垫圈的加入增加了循环温度下的一致性和可靠性。
产品优势
整个生产过程无特殊化学品或有害气体排放。
陶瓷纤维具有重量轻、保温性能好、热稳定性好、 化学稳定性好,施工方便等优点。
陶瓷垫圈的加入增加了循环温度下的一致性和可靠性。
规格参数
JG-HGC 1250
JG-HGC 1250L
操作温度
200-1250℃
200-1250℃
外壳
SUS不锈钢
SUS不锈钢
耐热材料
陶瓷纤维毯包裹式制程 52% Al2O3 / 47% SiO2
陶瓷纤维毯包裹式制程 52% Al2O3 / 47% SiO2
发热体
粗规格FeCrAl
粗规格粉末冶金FeCrAl
支撑体
自锁结构
自锁结构
适配石英管尺寸
430-540mm
430-540mm
应用场景
立式或卧式 LPCVD/氧化/扩散工艺, 最高可达1250℃
立式或卧式 LPCVD/氧化/扩散工艺, 最高可达1250℃,更长寿命
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